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微納制造技術
發布日期:2020/3/9 16:45:51  來源:百度百科  

微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件,以及由這些零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、集成與應用技術。傳統“宏”機械制造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度制造和裝配加工要求,必須研究和應用微納制造的技術與方法。微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。 [1] 
微納制造包括微制造和納制造兩個方面。
  (1)微制造 有兩種不同的微制造工藝方式,一種是基于半導體制造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等,這些工藝技術方法較為成熟,但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等問題,且只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件,無法進行復雜的三維微機械零件的加工;另一種是機械微加工,是指采用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳統加工技術形成的微加工技術,可進行三維復雜曲面零件的加工,加工材料
  不受限制,包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鉆削、微沖壓、微成形等。
  (2)納制造 納制造是指具有特定功能的納米尺度的結構、器件和系統的制造技術,包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。


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